LPCVD扩散炉 DPOLY

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产品详情产品参数

LPCVD技术指标1工作温度：300～900℃2适用硅片尺寸：4～6英寸3装片数量：正片100～150片/管4恒温区长度：1000mm5恒温区稳定性：≤±0.5℃6极限真空度：6mTorr7淀积膜均匀

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