青岛扩散炉氧化扩散炉合金扩散炉高温扩散炉

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产品概述微控扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备，相对程控扩散炉来讲控制更精确，功能更齐全。微控扩散炉技术指标1工作温度：200

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