扩散炉 THERMCO5200扩散炉翻新

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产品详情产品参数

可选配置：1工艺管数量：1～4管2工作台：有净化/无净化3进出舟模式：手动送片/自动送片(悬臂模式、软着陆模式)4适用工艺：氧化(干氧、湿氧)、扩散(磷扩、硼扩)、合金(氮气、氮氢)、退火等5是否配置

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