PECVD石墨烯生长炉 PECVD生长系统 PECVD

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产品描述PECVD1200等离子气相沉积炉是我公司在消化吸收国外同类产品的基础上，与北京大学东莞光电研究院共同研制开发的。广泛应用于薄膜生长等工艺。本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局

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